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                电话:0512-65821886 地址:苏州市工业园区新平街388号腾飞≡创新园A1栋
                微流控器件

                MEMS器件设计 - 微流控器件

                微流控器件最主要№的加工方法是来自于微电子行业◣的光刻技术和来自于表面图案化的软光刻技术。在上述两种技术的基础上,为了制作完整的微流控微通道,一般还需要对两片材料进行键合。玻璃和硅片等材料通过高温、高压或高电压等方法键合,而PDMS材料通过氧等离子处理进行键合。
                • 产品介绍
                • 案例展示
                PDMS器件:
                ● 微米级别线宽,采用㊣ 高精度模具
                硅流道器件:
                ● 纳米ω级别线宽,可控精度±5%以内,流道最大深宽比可★达20:1
                玻璃流道器件:
                ● 微米级别深度,可控精度±10%,深宽比可达1:2