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微流控器件

微流控器件

微流控器件最主要的加工∮方法是来自※于微电子行业的光刻技术和来自于表面图案化的软光刻技术。在上述两种技术的基础上，为了制作完整的微流控微通道√，一般还需▅要对两片材料进行键合。玻璃和硅片⊙等材料通过高温、高压或高电压等▽方法键合∞，而PDMS材料通过氧㊣等离子处理进行键合。