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                电话:0512-65821886 地址:苏州市工业园区新平◆街388号腾飞创新园◣A1栋
                外延与↘掺杂

                MEMS加工 - 外№延与掺杂

                外延一般是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层。新淀积的这层称为外延层。外延为器件设计者在优化器件性能方面提供了很大的灵活性,例如可以控制外延层掺杂厚度、浓度、轮廊,而这些因素是与硅片衬底无关的。这种控制可以通过外延生长过程中的掺杂来实现。
                • 产品介绍
                • 案例展示
                外延与掺杂技术:
                ● 金属有机物化学〒气相沉积:GaN,GaAs
                ● 化学气相沉积:SIC
                ● 离子注入:B,P,F,Al,N,Ar,H,He,Si
                高温氧化
                高温扩散/退火
                快速退火
                 
                压力传卐感器压阻条
                压力传感器压阻条