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                MEMS加工

                MEMS加工

                 MEMS加工工艺是下至纳米尺度,上至毫米尺度微结构加工工☉艺的通称。广义上的MEMS制造工艺,方式十分丰富,几乎涉⌒及了各种现代加工技术。起源于半导体和微电子工艺,以光刻、外延、薄膜淀积、氧化、扩散、注入、溅射、蒸镀、刻蚀、划片和封装等为基本工艺步骤来制造复杂三维形体的微加工技术。