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                公司新闻

                国内mems微纳加工技术发展面临哪些困境

                2021-08-05
                博研小编认为尽管mems微纳加工技术未来前景一片光明,但如果只看眼前,国内市场现状并不如尽如人意,国产MEMS的“坎”一个比一个难。
                 国内mems微纳加工技术发展面临哪些困境
                困境一:研发时间长,难以投产
                 
                mems微纳加工技术研发投入时间过长是阻碍国产MEMS发展的第一道难关。MEMS的全称为微型电子机械系统,是一种集微型机械与电子电路控制于一体的微型机电系统,内置的MEMS传感器将物理、化学、生物等多种信号进行收集、转换,再通过MEMS执行器和相应电路控制电子器件发生相应的行为※。
                 
                由此可见,mems微纳加工技术涉及到微电子、机械、材料、化学、医学、能源科学等多个学科,并且学科交叉程度极高,跨多个学科的复合型人才是主要输出,肩负挑大梁的重任。但是,目前国内的教育体制很难在短时间内批量培养出相关技术人才,带来的结果是研发周期拉长,一款MEMS产品至少需要6-8年的研发时间,然后才能进入测试阶段。
                 
                困境二:科研成果商品化难,无处流片难上难
                 
                mems微纳加工采用半导体工艺和材料,以半导体制造技术为基础而进阶发展而来,因此其设计和生产的过程与芯片制造类似,同样需要光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光工艺等,也就是要完成IC设计的∑研发、设计、制作、封装等过程,只是在微结构方面需要采用微加工技术制造,比如体硅微←加工技术、表面微加工技术和特殊微加工技术等。
                 
                MEMS芯片的制作流程同样是拿到设计先流片,再大批量生产。目前,MEMS设计并没有成熟的EDA工具可以做仿真,只能以DOE(试验设计)的形式先到晶圆厂投片,拿到样品后进行测试,根据测试结果再次修正,然后再去投片,如此反复直到测试成功。繁琐而复杂的制作过程大大地延长了MEMS的产品化周期,并且,如果找不到合适的产线进行流片,那一切都只是 “纸上谈兵”。
                 
                困境三:产能低,良率不佳
                 
                mems微纳加工依赖各种工艺和许多变量,而且一种MEMS产品√品类只能对应一种工艺,典型㊣ 的一个萝卜一个坑。因而,博研小编提醒大家,制造MEMS器件不仅需要成熟且丰富的★工艺技术,还要有足够多的产线保证产能。
                 

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