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                公司新闻

                光刻板的技术含量高不高

                2022-03-23
                博研给大家强调一下,光刻板是整个芯片的机密所在,没有╳光刻板,光刻机是无法准确加工芯片的。拿走光刻板,就可以复制任何公司的芯片,就像拿走印钱的电板可以制造逼真的假钱一样。
                 光刻板的技术含量高不高
                光刻板就相当于照相的底片,光刻机的作用就是要把底片上的图案印到光刻胶上。这个底片也就是光刻板,它的制造跟芯片光刻流程相似,但比■光刻工艺更难,而不是更简单。
                 
                光刻板是由芯片代工厂设计出来的,首先△需要拿到客户设计好的芯片图纸,这个图纸是电子版的,用EDA软件绘制。
                 
                芯片代工企业需要用EDA软件把这个文件◎打开,进行分析。这就是为什么大家都说除了⊙光刻机被卡脖子以外,EDA软件也会限制代工企业为华为服务的原因。图纸是不能直接用来刻芯片的,必须进行识别,分层和再设计。
                 
                芯片有很多不同的部件,不同部件的加工工艺是不一样的,不可能一次完成,必须分「批分步完成。这就要求把一个设计图纸先拆分成若干层,每一层制作一个光刻板。就好像彩色印刷需要把一张彩图≡做成四种▅颜色的印刷版,分四次印刷才能完成一样。
                 
                光刻板图案并不是设计图纸的简单再现,而是要根据实际工作经验对图案╲进行合理修饰才行。不做修饰的光刻板经●过光刻机的显影以后,得到的芯片图案会失真非常严重。
                 
                打个简单的比→方,要想打印一个老虎的图案,必须得用猫的相』片作为参照,如果用老虎自己的相片做参照,打印出来的可能就是怪兽了。所以,制作光刻板,不能跟图︾纸设计的图案完全一样。
                 
                必须根据光学衍射的理论,和光刻机实际失真程度的经验进行反向设计,把光刻板图案做一定的修饰,以便最终光刻出来的图案足够接近理想效果。这个环节对设计经验的要求Ψ 非常高,得反复试验才能达到最理想的效果。
                 
                除了修饰以外,掩膜板的空白区还要加上特殊图案以便对光刻机的光刻效果进△行考察。在光刻机工作的过程中,机器有没有走神儿,会不会〓出现偏差,要有一定的监督机制。一旦出现问题,要能【即使纠正和修订。空白区的图案就是起到监督的作用的。
                 
                设计好的图案得转化成光刻设备能识◇别的格式,传输↑给光刻设备。为了提高精度,光刻板的光刻一般不用普通光刻机,而是用精度更高的电子束〖光刻设备。电子束光刻设备的精度比光刻机要高,但工作效率低,暂时不适合用到芯片生产环节。
                 

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